发布人:管理员 发布时间:2024-06-26
一种靶材的真空钎焊工艺,该工艺包括三个主要步骤:
**步骤一:靶材冷却系统的装配**
在开始真空钎焊之前,首先要对铜铬底板(1)、不锈钢水嘴(2)、铜铬方腔(3)进行彻底清洗,确保表面无油、无氧化、无任何污染物。清洗后,对这三个组件的焊接部位进行活化处理,该处理过程包括使用蚀刻液蚀刻焊接部位,蚀刻厚度为焊接部位厚度的1/35至1/40,蚀刻时间为9至11分钟。之后,在蚀刻区域涂抹活性剂,并将其放入150至180°C的惰性气体中干燥。
接下来,在不锈钢水嘴(2)和铜铬方腔(3)的特定部位涂抹镍基焊膏,然后将铜铬底板(1)装配进方腔(3)内,并在装配接口四周继续涂抹镍基焊膏。活化剂的涂抹量约为镍基焊膏质量的2至5%。之后以2至5MPa的压力和0.5至1cm²的单次挤压面积对涂抹了镍基焊膏的区域进行挤压,并重复挤压3至5次以确保焊膏层的均匀分散。装配完成后,对铜铬底板(1)和不锈钢水嘴(2)施加压重,从而得到完整的靶材冷却系统。
**步骤二:真空钎焊**
将装配好的靶材冷却系统放入真空度为5×10^-2Pa的真空炉中,启动控制程序,通过梯度升温的方式进行加热。具体来说,首先在35至40分钟内将温度升至345至355°C,并保温20至30分钟;接着,在40至60分钟内升温至645至655°C,保温30至40分钟;之后,在同样的时间范围内将温度升至965至975°C,并保温30至40分钟;最后,在20至30分钟内将温度提升至1045至1055°C,保温5至8分钟。保温结束后,断电让系统随炉自然冷却。当温度降至595至605°C时,充入氮气或氩气以达到60KPa的压力值,待温度进一步降至45至55°C后,靶材冷却系统可以出炉。
**步骤三:水压检测**
最后,使用水压检测装置对真空钎焊后的靶材冷却系统进行检测。检测标准为每分钟的压力漏率小于0.1%,变形量不超过5%。