一种靶材的真空钎焊工艺，该工艺包括三个主要步骤：

**步骤一：靶材冷却系统的装配**

在开始真空钎焊之前，首先要对铜铬底板(1)、不锈钢水嘴(2)、铜铬方腔(3)进行彻底清洗，确保表面无油、无氧化、无任何污染物。清洗后，对这三个组件的焊接部位进行活化处理，该处理过程包括使用蚀刻液蚀刻焊接部位，蚀刻厚度为焊接部位厚度的1/35至1/40，蚀刻时间为9至11分钟。之后，在蚀刻区域涂抹活性剂，并将其放入150至180°C的惰性气体中干燥。

接下来，在不锈钢水嘴(2)和铜铬方腔(3)的特定部位涂抹镍基焊膏，然后将铜铬底板(1)装配进方腔(3)内，并在装配接口四周继续涂抹镍基焊膏。活化剂的涂抹量约为镍基焊膏质量的2至5%。之后以2至5MPa的压力和0.5至1cm²的单次挤压面积对涂抹了镍基焊膏的区域进行挤压，并重复挤压3至5次以确保焊膏层的均匀分散。装配完成后，对铜铬底板(1)和不锈钢水嘴(2)施加压重，从而得到完整的靶材冷却系统。

**步骤二：真空钎焊**

将装配好的靶材冷却系统放入真空度为5×10^-2Pa的真空炉中，启动控制程序，通过梯度升温的方式进行加热。具体来说，首先在35至40分钟内将温度升至345至355°C，并保温20至30分钟；接着，在40至60分钟内升温至645至655°C，保温30至40分钟；之后，在同样的时间范围内将温度升至965至975°C，并保温30至40分钟；最后，在20至30分钟内将温度提升至1045至1055°C，保温5至8分钟。保温结束后，断电让系统随炉自然冷却。当温度降至595至605°C时，充入氮气或氩气以达到60KPa的压力值，待温度进一步降至45至55°C后，靶材冷却系统可以出炉。

**步骤三：水压检测**

最后，使用水压检测装置对真空钎焊后的靶材冷却系统进行检测。检测标准为每分钟的压力漏率小于0.1%，变形量不超过5%。