真空铝钎焊炉特点

抽真空系统

真空铝钎焊的关键工艺参数之一是高真空度和足够的抽气量，以跟上加热循环期间由于镁蒸发而发生的大量脱气。典型的真空铝钎焊炉具有大型扩散泵和前级泵来满足这些要求

给定铝钎焊炉所需的泵送能力取决于负载，特别是被钎焊的负载表面积。负载表面积越大，所需的泵送能力就越大。由于大多数镁汽化发生在 10-4 到 10-5 托范围内，因此扩散泵必须使用足够的前级泵来处理磁爆期间的气体负荷。

为了便于在炉中抽真空，真空容器周围的冷却夹套在高于环境温度下运行。这种温暖的壁设计有助于防止当门打开装载/卸载时容器内的水蒸气冷凝。

水蒸气是铝钎焊的大敌。它既减慢抽速又分解，将氧气释放到熔炉中。暖壁设计也被证明可以降低钎焊过程中形成的氧化镁的结合强度，并最终凝结在腔室的内壁上，从而使其更易于机械清洁。

真空铝钎焊炉必须保持低泄漏率，以避免在钎焊循环期间外部气氛进入炉内。在整个钎焊循环中，真空质量包含非常低的 PPM 氧气。

具有低泄漏率的真空室的良好设计实践通常包括尽可能少地使用管螺纹接头，在 O 形圈的密封表面上使用 63 或更好的微抛光，并使用适合温度的正确 O 形圈材料的密封区域。
                                                            

加热元件

其他重要的工艺参数是精确的温度控制和温度均匀性。将热电偶的传感结放置在加热元件附近可以更快、更准确地控制工艺参数。

通过利用布置在热区内的许多加热控制区实现了 +/- 5 华氏度（3 摄氏度）的出色温度均匀性。宽带设计为工艺部件提供了一个巨大的辐射表面，这有助于更快的加热和更好的温度均匀性。

包含十到二十个单独控制的加热区的间歇式真空铝钎焊炉非常普遍。加热元件表面积占负载表面积的百分比很重要。加热元件的表面积越大，该表面上的功率密度越低，导致元件温度在稳态均热条件下仅略高于负载温度。这对于确保负载的外表面不会过热非常重要。参见图 17，代表真空铝钎焊炉的典型加热元件。

可以并排处理两个负载的真空炉也将利用两个负载之间的中心加热元件组。这种设计允许在双重工作负载上均匀加热所有表面。

真空铝钎焊的清洁
在真空铝钎焊炉上花费的大部分维护时间都用于清洁在钎焊过程中在腔室和热区内形成的氧化镁沉积物
                                                                      

机械清洗是去除氧化镁的常用方法。必须使用有色金属刮刀从室壁和热区护罩上刮除氧化镁，以免产生会点燃快速燃烧的氧化物的火花。如果氧化镁堆积太重且难以报废，则可能必须使用空气燃烧循环来帮助分解大的氧化物簇。从炉膛和热区中去除大部分氧化物后，在将炉子重新投入生产之前，进行正常的真空燃尽以进一步调节炉子。

应按照炉子制造商的具体说明清洁炉子上的扩散泵。

其他维护活动包括，每两到六个月更换一次真空泵油，每年更换动态密封件，例如门密封件和提升阀密封件，以及每年更换千斤顶面板（工作热电偶）部件。控制热电偶更换应遵循适用的指南。需要根据需要更换、清洁或重建真空传感计。