本文通过大量实验筛选真空扩散焊前的无氧铜腔环和纯铁大腔的清洗工艺，对真空扩散焊过程中的具体加热程序和加压程序进行了筛选。实验结果表明，本文制备的复合腔质量好、强度高、焊接精度高、复合腔 可以克服现有技术的小变形“死空间”现象和污染 现象 ；此外，本文一次可实现多片复合腔焊接，生产效率高，批量生产一致性好。此外，实验结果表明，采用本发明真空扩散焊接方法制备的复合腔组装具有驻波比小、耦合腔波管输出功率高、技术效果好等特点。

耦合腔行波管复合腔片的焊接方法包括以下步骤 ：纯铁大腔片 (1) 的清洗具体步骤为 ：取纯铁腔片(1)用三氯乙烯浸泡20~60分钟，然后取出放入碱中的超声器。

超声波清洗溶液30~60分钟，用自来水冲洗，取出50~60分钟％盐酸浸泡浓度为0.5～5 几分钟后，浸泡乙醇脱水，然后干燥，实现纯铁腔片 (1) 清洗 ；b、无氧铜腔环 (2) 的清洗 ：具体步骤为 ：取无氧铜腔环(2)在碱洗溶液中超声清洗30~60分钟，取无氧铜腔环(2)硝酸抛光液用于抛光，然后用于抛光 50~60% 盐酸浸泡浓度 10~30 秒，冲洗干净后浸泡乙醇脱水，然后干燥，实现无氧铜腔环 (2) 的清洗 ；c、零件装配 ：无氧铜腔环(2)用模具组装在纯铁大腔片(1)上，待复合腔片焊接件 ；d、真空扩散焊接 ：取步骤 c 组装好的复合腔放入真空扩散炉中，将真空扩散炉抽真空，当真空时 扩散炉内的真空度≤ 1×10-4 Pa，开始升温，300保温20分钟，500保温20分钟 800保温30分钟 在880保温60分钟的加热过程中，保持真空扩散 炉内真空度为 1×10-3 Pa 以下 ：加热后，当炉子冷却至室温时，取出复合腔片。