非晶合金是 20 在世纪材料领域的重大发现中，材料内部的原子排列是长而无序的短程 序列结构，无位错、晶界等缺陷。这种独特的结构使非晶合金材料具有许多优异的性能，如 军事、微强度、硬度、耐磨性、耐腐蚀性、优良的软磁性等 / 纳制造、运动器材、光通信、光通信 集成、激光、新型太阳能电池、高效磁性和输电材料具有广阔的应用前景。特别是非晶体 合金在过冷液相区具有超塑性能，在一定的温度和压力下，可以很好地复制模具上的每一个 形状。因此，非晶合金零件的形成和应用引起了广泛的关注，未来具有广阔的应用前景。 然而，现有技术很难制备多层非晶合金微小零件。微纳尺度金属模具 很难加工，成型后的脱模也是一个难题。虽然刻蚀法可以加工微纳尺度的硅 模具。但是，加工大深宽比的硅模也比较困难，形成大深宽比的微纳零件需要更大的压力 力，容易导致硅模破碎。另外，非晶合金很难完全填充大深宽比的模具型腔。因此，非晶合金 合金在多层微纳零件中的应用受到很大限制，很难充分发挥作为新工程材料的实用性 应用价值。 针对现有技术的缺陷
本文的目的是为多层非晶合金提供真空扩散焊接制备 小零件的方法旨在解决现有方法中多层非晶合金小零件成型困难的问题。  为实现上述目的，本文提供了多层非晶合金微小零件的真空扩散焊制备方形 法律，包括以下步骤 ：（1)对非晶合金材料进行热压成型，以获得非晶合金的小零件 ； （2)研磨成型后的非晶合金微小零件，去除飞边 ； （3)清洗非晶合金微小零件和硅模具，包括以下步骤 ： 将非晶合金的小零件和硅模放入丙酮中进行超声波清洗，以去除表面油 脂杂质 ； （3-2)将非晶合金的小零件和硅模放入无水乙醇中进行第二次超声波清洗 ； （3-3)清洗后，将非晶合金小零件和硅模放入干净的无水乙醇中保存 ；（4)组装和固定非晶合金的小零件和硅模具，包括以下步骤 ： （4-1)在多层非晶合金微小零件和硅模具上套上硅模具保护套 ；（4-2）在 WC 多层非晶合金微小，依次放置在硬质合金的下压头上，覆盖硅模具保护套 零件和硅模具，以及 WC 硬合金上压头，并套上组合模具套，形成固定工件 ； （5)将固定的工件放入真空扩散炉进行焊接 （6)将焊接工件和硅模放入装备中 KOH 在溶液容器中，将容器放入热水中中水浴加热零件从硅模中脱落，获得多层非晶合金微小零件。
步骤如下：
包括以下步骤 ：(1-1)用切片机将非晶合金材料切割成非晶合金块 ；(1-2)设置压力成型机的成形参数，将切割好的非晶合金块放在硅模具上，并进行整理 成型机中的热压成型为非晶合金微小零件 ；在本实施方法中，成形参数包括温度和压力 还有保压时间。  非晶合金材料是非晶合金薄板或棒材。 步骤(2)具体来说，固定非晶合金的小零件和硅模具，粒度为 800 ＃、1000 ＃、 1200 ＃砂纸和抛光布研磨飞边端面并抛光，以完全去除飞边和表面氧化层，并进行焊接 如果非晶合金微小零件需要双面焊接，则采用相同的研磨方法去除非晶合金微小零件 硅的另一端，直到非晶合金的另一端面暴露出来。 在步骤(4)中，非晶合金微小零件和硅模具的层数超过两层。 步骤(5)包括以下步骤 ： (5-1)将固定的工件放在真空扩散焊设备的下压头上，调整真空扩散焊设备 产生上压头 5MPa 的预紧力。 (5-2)关闭真空扩散焊设备的真空室门，打开真空扩散焊设备，开始抽真空 ； (5-3)当真空度为 1×10-3 Pa ～ 8×10-3 Pa 当加热开始时，加热速率为 5 ～ 10℃ / min ； （5-4）加热至 370℃～ 430℃时，应施加轴向压力并进行保温 40min ～ 70min ； (5-5)保温过程结束后，卸载轴向压力，工件随炉冷却至室温，焊接完成。步骤（6）中 KOH 溶液浓度为 热水温度为40% 80℃水浴加热时间为80℃ 5 小时。 与现有技术相比，本发明通过本文构思的上述技术方案具有以下有益效果 果 ：  1、本发明可实现多层非晶合金微小零件的一次键合，连接精密可靠，零件复杂 度范围广 ； 2、本文采用真空扩散焊接多层非晶合金微小零件，形成良好的焊接区域 ； 3、本发明通过在适当的绝缘压力下调整焊接温度和焊接时间，可以使焊接 非晶材料继续保持非晶特性，不破坏材料的结构和性能 ；  4、本文可实现多种非晶合金材料、多层、多形状等不同形式的非晶合金多微纳 零件制备，扩大材料在工程中的应用范围，提高材料的应用价值。