真空炉在整个温度曲线的热区内具有高度均匀性，是在大量负载下执行相同加热循环以及对较大工件进行连续钎焊的理想系统。此外，它还能够准确地重复相同的循环。通过链接到循环程序的条形码加载工件时，可以识别工件。因此，每个部件都可以与它自己的加热循环相关联。

在填料的熔化温度下运行的真空炉的温度通常高于形成氧化物的温度。结果，在达到填料熔化温度之前，即使是氧化的碎片也会在真空中失去氧化层。

必须清洁真空炉。这意味着不会在负载上留下污染物。

用于航空航天、粒子物理和冶金研究的真空炉是一个复杂而精密的系统，采用金属热室、干泵和超高真空炉的容器构造标准特征制造。该炉符合NADCAP 要求，而循环编程软件允许高精度的自动循环。

包含热区的金属室由多层金属反射屏蔽层制成，内屏蔽层为钼/镧，中间层为钼和不锈钢，外层屏蔽层为不锈钢。规范要求的真空环境中的清洁水平是通过避免在热室的构造中使用绝缘材料面板来获得的，例如铝纤维或石墨海绵，能够保持湿度或更差油蒸气的材料。

完全由不锈钢制成的真空密封容器在组装前进行内部超声波清洗，随后使用氦检漏仪进行密封测试。这些组件完全是超高真空、金属密封件或氟橡胶。

泵送系统不使用润滑泵，而是使用干式主泵。罗茨泵（凸轮增压泵）是一种典型的泵，其中密封取决于凸轮和定子之间的公差。超高真空泵可以是涡轮分子泵或低温泵。但是，如果安装了带有供应液氮的低温捕集器或双级 Polycold 系统，也可以使用油蒸汽扩散泵。这两种系统都能够吸入可冷凝蒸汽并阻止油蒸汽的反向散射。